| 主要特征： 核心零部件及軟件全部原裝進口 單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性 三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損 開放式金屬光柵尺，更接近花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性 Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，消除了運動扭擺，了測量精度及穩(wěn)定性 控制系統(tǒng)采用英國 RENISHAW 的 UCCLite 高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制 三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、
注：工作環(huán)境為 溫度（20±2）℃，濕度55%-65%
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主要特征：
三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損 單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性 Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，消除了運動扭擺，了測量精度及穩(wěn)定性 歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um 控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制 三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、
規(guī)格型號與技術(shù)指標： 詳情請參考：http://www.fanoric.com/product_view.asp?id=303
主要特征:
采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質(zhì)心，減少了阿貝誤差u X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金 Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌uu Z軸采用專利的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和穩(wěn)定性 u 各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和定位 三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損uu 三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮u 采用海克斯康為Function Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能，了大型機器的動態(tài)性能和測量精度u 測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差 軟件為業(yè)界標桿的PC-DMIS BASIC （/PC-DMISu PREMIUM），功能強大，易學
規(guī)格型號與技術(shù)指標：
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| 800 | 1000 | |||
| 機器型號 |
| F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
| Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
| 測量空間（mm） | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | |
| Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | |
| Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | |
| Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | |
| 花崗巖平臺螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 |
| M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
| W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
| H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
| 承重（kg） |
| 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 機器重量（kg） |
| 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
| MPEe（μm） |
| 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 |
| MPEp（μm） |
| 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 光柵尺分辨率（μm） |
| 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 空間移動速度（mm/s） |
| 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 空間移動加速度（mm/ s2） |
| 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
| 流量/供氣壓力 |
| 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa |
注：工作環(huán)境為溫度（20±2）℃, 濕度為45%-75%
| | | 800 | 1000 | |||
| 機器型號 | | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
| Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
| 測量空間（mm） | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | |
| Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | |
| Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | |
| Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | |
| 花崗巖平臺螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 |
| M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
| W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
| H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
| 承重（kg） | | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 機器重量（kg） | | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
| MPEe（μm） | | 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 |
| MPEp（μm） | | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 光柵尺分辨率（μm） | | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 空間移動速度（mm/s） | | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 空間移動加速度（mm/ s2） | | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
| 流量/供氣壓力 | | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa |
| | | 800 | 1000 | |||
| 機器型號 | | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
| Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
| 測量空間（mm） | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | |
| Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | |
| Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | |
| Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | |
| 花崗巖平臺螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 |
| M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
| W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
| H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
| 承重（kg） | | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 機器重量（kg） | | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
| MPEe（μm） | | 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 |
| MPEp（μm） | | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 光柵尺分辨率（μm） | | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 空間移動速度（mm/s） | | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 空間移動加速度（mm/ s2） | | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
| 流量/供氣壓力 | | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa |