干燥箱/烘箱產(chǎn)品及廠家
js-hmds90烘箱采用真空蒸鍍的方法涂布hmds化合物。hmds烘箱在高溫條件下，達(dá)到真空狀態(tài)后開始涂布工藝，涂布完成后烘箱內(nèi)部充入n2，達(dá)到常壓后方可開門。
更新時(shí)間:2025-11-06
hmds預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，改變了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。
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精密循環(huán)風(fēng)烤箱，精密高溫烘箱適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。 也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗(yàn)。
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半導(dǎo)體光刻烤箱，晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器過濾，使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。潔凈烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動控制p.i.d調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。
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全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈烘箱定做潔凈度class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境
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該工業(yè)烘烤箱是一種新型可營造無氧潔凈恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)烘箱箱,在加溫工作的同時(shí)充入氮?dú)?適用高溫易氧化產(chǎn)品的烘烤加熱。
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烘箱，精密烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱用于ic生產(chǎn)中烘、后烘烤、堅(jiān)膜、裝片機(jī)后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。
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六箱體氮?dú)夂嫦洌鄠}式潔凈烘箱于光刻膠固化、堅(jiān)膜烘烤、治具干燥、芯片封裝、碳化硅襯底生產(chǎn)、外延片烘烤、墨點(diǎn)烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能
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石膏鑄模烤箱，石膏模具烘烤設(shè)備可滿足精鑄優(yōu)質(zhì)的鋅合金模具要求，廣泛應(yīng)用于汽車輪胎、航天等工業(yè)的高品質(zhì)鋁制品。我們的烘箱的產(chǎn)品，符合國際企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量和文檔記錄設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)。
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乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) vtms蒸鍍機(jī) 硅烷偶聯(lián)劑氣相沉積系統(tǒng)在材料進(jìn)行表面改性，形成防水保護(hù)層，主要用于半導(dǎo)體、光電、生物新材料等表面處理工藝、機(jī)械乳化劑、橡膠粘結(jié)劑，化工油墨分散劑等用途。
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硅片充氮烘箱，半導(dǎo)體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動控制p.i.d調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口
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無氧烘箱，20ppm無氧烘箱應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、ic封裝、石英玻璃、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求.
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電熱干燥箱用于工礦企業(yè)，科研院校、大小醫(yī)院、醫(yī)藥衛(wèi)生等實(shí)驗(yàn)室對各種產(chǎn)品、試品進(jìn)行烘培、干燥、固化、熱處理及其它方面的加熱。本系列產(chǎn)品采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯示出工作溫度，直觀易讀。
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抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（nil）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中hmds增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,led,mems,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
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pi真空固化烤箱，水冷卻pi固化爐用于光刻膠bcb，聚酰亞胺pi固化，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、mems微機(jī)電、tft/lcd等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。
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真空熱風(fēng)烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱用于聚酰亞胺pi膠、cpi膠、bcb膠固化、低k電介質(zhì)固化，lcp材料熱處理、鍵合材料預(yù)處理，fowlp扇出封裝，ito膜/鋁/銅退火，pbo膠固化等特殊工藝。
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恒溫恒濕箱，控制器采用temi-300型溫濕度控制器是廣州慶瑞電子科技有限公司自行研制生產(chǎn)的新一代高科技產(chǎn)品;是國內(nèi)率先開發(fā)研制成功利用干濕球測量并控制溫度、濕度的控制器。它具有全自動節(jié)能控制空壓機(jī)、全自動pid自整定功能，主要用于恒溫恒濕試驗(yàn)設(shè)備配套使用。
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百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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半導(dǎo)體烘箱，n2半 導(dǎo)體烤箱適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、ic封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗(yàn)
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充氮pi烘箱，pi充氮烤箱升溫速率可控，設(shè)定工藝曲線，一鍵運(yùn)行；輔助降溫縮短降溫時(shí)間，提高生產(chǎn)效率；可達(dá)到低氧環(huán)境，固化效果更佳。
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無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).智能無氧烤箱可以使用tcp / ip（使用hsms標(biāo)準(zhǔn)，semi e37）或基于rs-232的協(xié)議與支持gem的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。
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塑封固化用潔凈烘箱采用自動加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
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百潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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鈮酸鋰無氧烘箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和mems器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺pi膠、cpi膠、bcb膠固化、低k電介質(zhì)固化，lcp材料熱處理、鍵合材料預(yù)處理，fowlp扇出封裝，ito膜/鋁/銅退火，pbo膠固化等特殊工藝。
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隧道烘箱，流水線烘箱作用是將需要烘烤的產(chǎn)品在流水線上連續(xù)性進(jìn)行烘烤，以達(dá)到提高生產(chǎn)效率。
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濕敏元件用烘箱滿足各種濕敏元件烘烤條件的用烘烤設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)：40℃～90℃ 低溫烘烤125℃~150℃ 烘烤及高溫試驗(yàn)
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熱風(fēng)真空烘箱，真空+鼓風(fēng)一體烘箱主要用于bcb固化、pi固化、其他光刻膠固化、lcp熱處理等工藝
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潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱支持mes等自動化通信端口， 內(nèi)置計(jì)時(shí)報(bào)警功能， 氧含量實(shí)時(shí)監(jiān)測（氧化鋯分析儀
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secs/gem協(xié)議無塵烘箱，無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；設(shè)備可以使用tcp / ip（使用hsms標(biāo)準(zhǔn)，semi e37）或基于rs-232的協(xié)議與支持gem的主機(jī)進(jìn)行通信通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由gem指定的通用secs-ii消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
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hmds預(yù)處理系統(tǒng)(js-hmds90 )將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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硅片充氮烘箱，無氧充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備.適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
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厭氧烘箱，厭氧固化烘箱用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
更新時(shí)間:2025-11-06
class1000烤箱，千級無塵烤箱用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。 應(yīng)用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具退火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求。
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芯片高溫?zé)Y(jié)箱，500℃高溫烤箱廣泛應(yīng)用于電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、pc板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材.可供生產(chǎn)廠家和科研單位做三氟乙烯、四氟乙烯、pe等壓縮成型制品的燒結(jié)
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真空無氧化烤箱（bcb厭氧固化烤烘箱）是將涂敷bcb或pi的襯底放入真空無氧烘箱中，通入n2→真空置換后，采用多升溫保溫的方式，在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時(shí)間從一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。
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精密熱風(fēng)烤箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強(qiáng)度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設(shè)計(jì)精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風(fēng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達(dá)±1.5％，當(dāng)門開、關(guān)動作引起擾動時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值。
更新時(shí)間:2025-11-06
烘箱，實(shí)驗(yàn)室小型烘箱可用于各企業(yè)、檢測化驗(yàn)室、科研院所等用于干燥、烘焙、熔臘、高溫滅菌等。它對各種材料、設(shè)備、電工電子產(chǎn)品、武器裝備等的適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn)都是必不可少的。在航天、航空、船舶、兵器、電子、石化、郵電、通訊、汽車、醫(yī)療、高校等領(lǐng)域貢獻(xiàn)突出。
更新時(shí)間:2025-11-06
電線電纜真空干燥箱用于電線電纜絕緣吸水試驗(yàn)，符合gb/t2951.13-2008等標(biāo)準(zhǔn)的要求
更新時(shí)間:2025-11-06
高溫厭氧烘箱，厭氧固化烤箱 厭氧烤箱將封閉內(nèi)腔持續(xù)加熱到預(yù)設(shè)溫度后，進(jìn)入保溫加熱控制狀態(tài)，在保溫加熱控制狀態(tài)中采用間斷式加熱方式，使得封閉內(nèi)腔中的溫度能夠保持穩(wěn)定的溫度，電子元件在均勻的溫度下進(jìn)行固化，提高電子元件的質(zhì)量；也可以滿足大容量烤箱的生產(chǎn)要求，提高了生產(chǎn)效率。
更新時(shí)間:2025-11-06
偶聯(lián)劑蒸鍍機(jī) 抗黏劑蒸鍍機(jī)應(yīng)用工藝和鍍膜化學(xué)品區(qū)別不同，應(yīng)用于半導(dǎo)體，集成電路，mems工藝，建筑材料，航天新材料
更新時(shí)間:2025-11-06
hmds預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
更新時(shí)間:2025-11-06
真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時(shí)間控制裝置，曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫?cái)嚅_加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。
更新時(shí)間:2025-11-06
hmds烘箱真空泵，hmds系統(tǒng)用油泵 在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑hmds(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將hmds涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。
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電熱鼓風(fēng)烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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