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                                                        掩膜版清洗系統
                                                    
      
                        
      
                            
      掩模的完整性對高標準光刻工藝的成功起主要作用。masktrack pro 掩膜清洗處理系統滿足下一代光刻節點在掩模清洗、烘烤和顯影工藝方面的所有標準。它是應對 193i 1x half-pitch dpt、紫外光刻 (euvl) 和納米壓印光刻 (nil)高要求的創新解決方案。以創新技術大限度地提高光掩模性能。
      
                            更新時間:2025-09-09
                        
      
                        
                    
      
                                    
      
                            
      
            
        
      
        
      
            
            
      
                
      
                    
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